▲美日豐創(chuàng)無(wú)塵車間內(nèi)
臺(tái)海網(wǎng)4月24日訊 （海峽導(dǎo)報(bào)記者 鄔眉 通訊員管軒 雷飏 文/美日豐創(chuàng)光罩公司供圖）集成電路俗稱“芯片”，光罩是芯片的關(guān)鍵性技術(shù)。昨日，廈門注入強(qiáng)大“芯”力量——廈門美日豐創(chuàng)光罩有限公司宣布正式開工，將于6月出貨，預(yù)計(jì)今年產(chǎn)能將達(dá)4000片。
昨天上午10：30，在廈門火炬(翔安)產(chǎn)業(yè)區(qū)，美日豐創(chuàng)舉行開工典禮。美日豐創(chuàng)由全球商用光罩巨頭——美國(guó)豐創(chuàng)股份和日本DNP(大日本印刷株式會(huì)社)合資，于2017年6月破土動(dòng)工，項(xiàng)目總投資10.67億元，總建筑面積3.9萬(wàn)平方米，是目前國(guó)內(nèi)唯一一家獨(dú)立的高端光罩廠，可為國(guó)內(nèi)提供主流的14納米及以上制程的光罩。
光罩是集成電路產(chǎn)業(yè)鏈的重要組成部分，類似于生產(chǎn)集成電路的“膠卷底片”，全世界能夠生產(chǎn)光罩的先進(jìn)工廠不超過(guò)十家，此前，大陸主要高端晶圓廠商使用的光罩多依賴國(guó)外進(jìn)口。美日豐創(chuàng)光罩項(xiàng)目可為已經(jīng)落戶廈門的聯(lián)芯配套，投產(chǎn)后將擴(kuò)大聯(lián)芯產(chǎn)能，增強(qiáng)競(jìng)爭(zhēng)力，同時(shí)，可吸引更多集成電路設(shè)計(jì)企業(yè)聚集廈門，強(qiáng)化集成電路產(chǎn)業(yè)集聚效應(yīng)，對(duì)廈門市乃至大陸的集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展都具有重要意義。
近年來(lái)，廈門正在打造集成電路千億產(chǎn)業(yè)鏈，2017年廈門火炬高新區(qū)集成電路產(chǎn)業(yè)規(guī)模居全國(guó)第五，園區(qū)已集聚集成電路及配套企業(yè)近150家，并初步形成覆蓋“芯片設(shè)計(jì)、材料與設(shè)備、晶圓制造、封裝測(cè)試、應(yīng)用”的集成電路全產(chǎn)業(yè)鏈布局。其中，聯(lián)芯12英寸晶圓廠已經(jīng)投產(chǎn)，成為我國(guó)大陸地區(qū)已投產(chǎn)的技術(shù)水平最先進(jìn)、良率最高的12英寸晶圓廠。
據(jù)介紹，目前，美日豐創(chuàng)正加緊試產(chǎn)跑線，投產(chǎn)后初期每月產(chǎn)能為500片，1年后將增產(chǎn)到1200片到1500片，成為大陸地區(qū)規(guī)模最大的集成電路商用光罩生產(chǎn)基地。
美國(guó)豐創(chuàng)公司首席執(zhí)行官Peter Kirlin表示，下一步，將在廈打造世界頂級(jí)光罩研發(fā)中心，計(jì)劃投資1億美元研究7納米和EUV（極紫外線）光刻工藝，為廈門集成電路發(fā)展提供更多的技術(shù)支撐。據(jù)悉，目前全球只有臺(tái)積電、三星和英特爾三家國(guó)際大廠有這樣的工藝水平研發(fā)和生產(chǎn)。
