科普
光罩和集成電路
集成電路是一種微型電子器件或部件。它采用一定的工藝,把一個電路中所需的晶體管、電阻、電容和電感等元件及布線互連一起,制作在一小塊或幾小塊半導體晶片或介質基片上,然后封裝在一個管殼內(nèi),成為具有所需電路功能的微型結構。
光罩是將電路設計轉移到晶圓片上的一個必要轉換媒介,由石英玻璃作為襯底,在其上面鍍上一層金屬鉻和感光膠,成為一種感光材料。
在集成電路的過程中,將光罩送至晶圓廠放置于光刻機臺中,利用光蝕刻技術,在半導體上形成圖形,為將圖形復制于晶圓上,必須透過光罩作用,類似于沖洗照片時,利用底片將影像復制至相片上,其中把晶圓片比作照片,那么光罩就相當于“膠卷底片”,只要光罩存在,就能復制無數(shù)的晶圓片。
由于晶圓上的所有芯片皆需要藉由光罩專制,光罩的質量必須是零缺陷,線寬的精準工藝要求以納米為單位。

